DaVinci 套刻誤差精密量測系統

?向先進晶圓制造的高精度 Overlay 量測平臺

DaVinci 系列是專為半導體晶圓制造流程中套刻誤差(Overlay)量測設計的?精度量測系統，采?創新的結構框架與全?動化操作架構，提供穩定可靠、精度達亞納?級的套刻誤差量測能?。 

系統特別?向 Foundry 客戶的?階?藝需求，結合?機友好的軟件界?、?動化配?(recipe)?成與優化功能，極?簡化操作流程，提升測量效率與?致性。同時，系統內建標準 SECS/GEM 通訊協議，確保與 Fab ?動化系統?縫集成，?持量產環境下的?通量需求。